SEM：走査型電子顕微鏡

電子ビームを真空チャンバー内に入れた対象物に照射し、 対象物から放出される二次電子などを検出することによって、 対象物の形状をマイクロ〜ナノスケールで観察できます。

マイクロプラズマ装置

凄く小さなプラズマを作る装置。
SEMのチャンバーを交換することでマイクロプラズマ装置になります。 SEM中でプラズマを作ることで、電子顕微鏡を見ながらプラズマで成膜、エッチングなどが行えます。

スパッタ装置

プラズマのイオンを金属板に当てることによって金属微粒子が飛び散り、 その金属を基板などに降り積もらせることで薄い金属膜を作ります。 ステンレスの指輪が金やプラチナの指輪になってしまうこともあるとかないとか。

ASTeX（アステックス）

ASTeX社製のダイヤモンドを合成するための装置です。 メタンガスをプラズマで分解し、その炭素を結晶成長させることでダイヤモンドを得ます。 マイクロ波を用いた化学気相成長（CVD法）を行います。 その後、エッチングや洗浄を行い様々な特性を持つダイヤモンドにします。

フーリエ変換赤外吸収分光装置

パーキンエルマー社製FT-IR装置SpectrumOneです。 赤外吸収分光は物質の化学的結合状態を知る上で非常に有効な測定手法で、 下にあるラマン分光装置と相補的な性格を持ちます。 それぞれどちらかだけに特徴が出る結合状態がある、っていうことです。

顕微レーザーラマン分光装置

八田研お手製の顕微レーザーラマン分光装置TR-116です。 一応ラマン分光が行えるんですが、物質によっては測定ができないという 超不完全な装置です。これから改良を行っていく予定ですがどうなんでしょう。
余談ですが、型番の「116」はこの装置で初めてラマンスペクトルが測定できた日、 2007年1月16日からきてます。